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Ein Verfahren zur Positionskontrolle für die Rastersondenspektroskopie einer Probe. Ein Positionierfehler der Sonde wird bestimmt, indem die aus einer Sequenz von Scans erzeugten Darstellungen verglichen werden, um Unterschiede zwischen Positionen von zumindest einem Teilbereich einer Referenzcharakteristik der Probe in den Darstellungen zu identifizieren. Eine Sonde wird zu einem Zielort zum Zweck der Spektralanalyse bewegt basierend auf einer Funktion des bestimmten Positionierfehlers der Sonde.
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