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发明名称 HALBLEITER-WAFER-HERSTELLUNGSVERFAHREN
摘要
申请公布号 AT555876(T) 申请公布日期 2012.05.15
申请号 AT20080833192T 申请日期 2008.09.11
申请人 SUMCO TECHXIV CORPORATION 发明人 TAKAI, HIROSHI;SATOMURA, KENJI;NAKAYOSHI, YUICHI;YAMAMOTO, KATSUTOSHI;MIZOWAKI, KOUJI
分类号 B24B37/04;B24B37/08;B24B37/27;B24B37/28;H01L21/02;H01L21/304 主分类号 B24B37/04
代理机构 代理人
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