发明名称 TRÖPFCHENENTFERNUNGSVORRICHTUNG UND -VERFAHREN IN PLASMAGENERATOR
摘要
申请公布号 AT555230(T) 申请公布日期 2012.05.15
申请号 AT20060729952T 申请日期 2006.03.24
申请人 FERROTEC CORPORATION 发明人 SHIINA, YUICHI
分类号 C23C14/32 主分类号 C23C14/32
代理机构 代理人
主权项
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