发明名称 |
一种机械式离子束均匀性校正器 |
摘要 |
一种机械式离子束均匀性校正器,包括:真空腔,小光栏片,调节杆,真空动密封模块,调节传动模块,调节电机,上光栏链,下光栏链。所述的真空腔上下面开排孔,安装真空动密封模块;所述的小光栏片首尾相连,分别组合成上光栏链和下光栏链,并在连接处同调节杆的一端相连;所述的真空动密封模块安装在真空腔上,中间可穿过调节杆,并密封真空;所述的调节传动模块一端连接调节杆,另一端连接调节电机,将电机转动转变为调节杆的轴向滑动;所述的上光栏链和下光栏链由多个小光栏片首尾相连组成,并在每个连接处与一根调节杆连接,通过调节杆的轴向移动,调节相应连接点处上光栏链和下光栏链之间的距离,改变离子束的通过率,实现离子束在光栏链范围内的均匀性校正。 |
申请公布号 |
CN102446690A |
申请公布日期 |
2012.05.09 |
申请号 |
CN201010514163.3 |
申请日期 |
2010.10.13 |
申请人 |
北京中科信电子装备有限公司 |
发明人 |
彭立波;唐景庭;伍三忠;孙勇 |
分类号 |
H01J37/317(2006.01)I |
主分类号 |
H01J37/317(2006.01)I |
代理机构 |
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代理人 |
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主权项 |
一种机械式离子束均匀性校正器,包括:真空腔(1),小光栏片(2),调节杆(3),真空动密封模块(4),调节传动模块(5),调节电机(6),上光栏链(7),下光栏链(8)。所述的真空腔(1)上下面开排孔,安装真空动密封模块(4);所述的小光栏片(2)首尾相连,分别组合成上光栏链(7)和下光栏链(8),并在连接处同调节杆(3)的一端相连;所述的真空动密封模块(4)安装在真空腔(1)上,中间可穿过调节杆(3),并密封真空;所述的调节传动模块(5)一端连接调节杆(3),另一端连接调节电机(6),将调节电机(6)的转动转变为调节杆(3)的轴向滑动;所述的上光栏链(7)和下光栏链(8)由多个小光栏片(2)首尾相连组成,并在每个连接处与一根调节杆(3)连接。 |
地址 |
101111 北京市中关村科技园通州园光机电一体化产业基地兴光二街六号 |