一种蚀刻槽循环管路装置

摘要

本发明提供一种蚀刻槽循环管路装置。本发明所提出的蚀刻槽循环管路装置包括蚀刻槽内槽，蚀刻槽外槽，泵，加热器和过滤器，蚀刻槽外槽底部管路与泵相连接后，依次通过加热器，并联两只以上过滤器，再连接蚀刻槽内槽，形成循环管路。本发明提出的蚀刻槽循环管路装置，通过对酸槽循环管路的改造，增加过滤器，使整个管路可以承受更大的压力，整体酸液的流速会增加到原来的2～3倍，并且酸槽内部酸液的流速会相对更均匀，有效增加酸液的流速，减少残留物缺陷的产生，非常适于实用。

主权项

一种蚀刻槽循环管路装置，其包括蚀刻槽内槽，蚀刻槽外槽，泵，加热器和过滤器，蚀刻槽外槽底部管路与泵相连接后，依次连接加热器和过滤器，再连接蚀刻槽内槽，形成循环管路，其特征在于，所述过滤器数量为2只以上，以并联方式连接。