| 发明名称 | 一种工件台位置测量装置与测量方法 | ||
| 摘要 | 一种工件台位置测量装置，包括：反射镜，设置于该工件台的一侧面；干涉仪，置于该工件台设有该反射镜的一侧，该干涉仪与该反射镜之间建立一外部光路，且该干涉仪用于测量该外部光路的光程；具有多个探头之传感器，该些探头沿该外部光路方向设置，用以探测该外部光路外围的微环境数据；数据处理单元，与该干涉仪及该传感器电性连接，用以读取该光程以及该些探头中处于该光程内的探头测得的该外部光路外围的微环境数据，并依据所读取的该外部光路外围的微环境数据对该光程进行分段补偿，并依据补偿后的该光程计算该工件台的位置。 | ||
| 申请公布号 | CN102445149A | 申请公布日期 | 2012.05.09 |
| 申请号 | CN201010507228.1 | 申请日期 | 2010.10.14 |
| 申请人 | 上海微电子装备有限公司 | 发明人 | 张俊 |
| 分类号 | G01B11/00(2006.01)I;G03F7/20(2006.01)I | 主分类号 | G01B11/00(2006.01)I |
| 代理机构 | 北京连和连知识产权代理有限公司 11278 | 代理人 | 王光辉 |
| 主权项 | 一种工件台位置测量装置，包括：反射镜，设置于该工件台的一侧面；干涉仪，置于该工件台设有该反射镜的一侧，该干涉仪与该反射镜之间建立一外部光路，且该干涉仪用于测量该外部光路的光程；具有多个探头之传感器，该些探头沿该外部光路方向设置，用以探测该外部光路外围的微环境数据；数据处理单元，与该干涉仪及该传感器电性连接，用以读取该光程以及该些探头中处于该光程内的探头测得的该外部光路外围的微环境数据，并依据所读取的该外部光路外围的微环境数据对该光程进行分段补偿，并依据补偿后的该光程计算该工件台的位置。 | ||
| 地址 | 201203 上海市浦东区张江高科技园区张东路1525号 | ||