导流筒

摘要

本发明将内导流筒下部相对位置处的斜角改成直角，在不改变氩气流量的情况下，使充气系统的流量流速恒定，能够解决原导流筒气流太快，导流筒装偏后两侧气流不均匀所导致的晶棒晃动；同时该内导流筒的设计为增加导流筒的开口，拉制更大直径的晶棒提供可能。

主权项

一种直拉硅单晶炉的气流控制设备，由内导流筒、外导流筒等组成，其特征在于在内导流筒下部相对位置处设置为直角。