| 发明名称 |
Improvements in or relating to the manufacture of thin layer of etchable silicon nitride |
| 摘要 |
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| 申请公布号 |
GB1146383(A) |
申请公布日期 |
1969.03.26 |
| 申请号 |
GB19670025051 |
申请日期 |
1967.05.31 |
| 申请人 |
SIEMENS AKTIENGESELLSCHAFT |
发明人 |
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| 分类号 |
C23C16/34;H01L21/311;H01L21/318;H01L29/00 |
主分类号 |
C23C16/34 |
| 代理机构 |
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代理人 |
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| 主权项 |
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| 地址 |
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