发明名称 STORAGE VESSEL
摘要
申请公布号 US5226713(A) 申请公布日期 1993.07.13
申请号 US19900633855 申请日期 1990.12.26
申请人 EBARA CORPORATION 发明人 MATSUMURA, MASAO
分类号 B65G1/133;B65G1/00;B65G1/02;B65G1/04;B65G49/07;H01L21/673;H01L21/677 主分类号 B65G1/133
代理机构 代理人
主权项
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