一种去离子水槽

摘要

本发明提供一种外表面带有防水挡板的去离子水槽，其包括水槽主体，过渡传感器，上挡板和侧挡板。过渡传感器固定在离子水槽的外表面上，上挡板固定在过渡传感器的上方，侧挡板与上挡板相连接，固定在过渡传感器的两侧。使水槽内溢出来的水流向发生改变而不经过晶圆过渡传感器，不但延长传感器密封圈的寿命，也保护了传感器正常工作，避免晶圆误被探测而发出报警信号中断整个研磨过程，导致晶圆研磨的不持续性，造成晶圆存在表面缺陷，非常适于实用。

主权项

一种去离子水槽，其包括水槽主体，过渡传感器，上挡板和侧挡板，其特征在于，过渡传感器固定在离子水槽的外表面上，上挡板固定在过渡传感器的上方，侧挡板与上挡板相连接，固定在过渡传感器的两侧。