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发明名称 METHOD FOR MANUFACTURING SOI WAFER
摘要
申请公布号 EP1667209(B1) 申请公布日期 2012.05.09
申请号 EP20040787753 申请日期 2004.09.08
申请人 SUMCO CORPORATION 发明人 ENDO, AKIHIKO;MORIMOTO, NOBUYUKI
分类号 H01L21/02;H01L21/322;H01L27/12 主分类号 H01L21/02
代理机构 代理人
主权项
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