真空成膜装置以及真空成膜装置的挡板位置检测方法

摘要

当进行挡板(21)的位置检测时，从检测器(光传感器)(24)例如照射激光(L)。照射的激光(L)经由腔室(1)的窗(25)到达挡板(21)。然后，由挡板(21)的表面反射并再次射入检测器(24)。检测器(24)检测从该激光(L)的射出到反射光的射入的时间。

主权项

一种真空成膜装置，其特征在于，具备：腔室，内部保持真空；工作台，在该腔室内形成，用于放置挡板；靶，与该工作台相对而配置；挡板机构，在所述工作台和所述靶之间插脱自如地形成，并具有用于保持所述挡板的臂；以及检测器，在所述挡板被所述臂保持的状态下，检测所述挡板从保持基准位置的偏移。