| 摘要 |
<p>Die Erfindung betrifft einen mikroelektromechanischen Sensor zur Messung einer Kraft, eines Drucks oder dergleichen. Er umfasst ein Substrat mit einem Messelement, wobei das Messelement zumindest zwei elektrisch leitende Bereiche umfasst, wobei zumindest einer der elektrisch leitenden Bereiche mit dem Substrat zumindest teilweise verbunden ist, und zumindest einen Wechselbereich, wobei der Wechselbereich zumindest teilweise zwischen den elektrisch leitenden Bereichen angeordnet ist, wobei der Wechselbereich in einem unbelasteten Zustand im Wesentlichen elektrisch isolierend ausgebildet ist und im belasteten Zustand im Wesentlichen elektrisch leitend ausgebildet ist. Die Erfindung betrifft ebenfalls ein entsprechendes Verfahren sowie ein entsprechendes Verfahren zur Herstellen eines mikroelektromechanischen Sensors.</p> |
