形状测定装置、观察装置及影像处理方法

摘要

提供一种能以高解像力测定被测定物的表面形状的构成的形状测定装置、观察装置及影像处理方法。该形状测定装置，具备：高速影像处理器(34)，是从多个影像中抽出一个对象影像与除了对象影像以外的至少一个参考影像，并使数字运算(OP1)作用于对象影像与参考影像，就抽出的对象影像与参考影像的各组以对象影像的像素单位算出局部聚焦度；以及控制用电脑(35)，是根据以像素单位算出的多个局部聚焦度中依各像素为最大的相对移动位置，求出被测定物的表面高度，数字运算(OP1)，具有在算出局部聚焦度后，对对象影像的瞩目像素的像素值与参考影像中存在于与瞩目像素不同像素位置的相邻像素的像素值赋予权重的系数；局部聚焦度，是通过数字运算(OP1)而产生的瞩目像素的像素值与相邻像素的像素值的微分值。

主权项

一种形状测定装置，其特征在于，具备：摄影装置，接收来自以照明部照明的被测定物表面的光以拍摄所述被测定物的表面像；相对移动部，沿构成所述摄影装置的光学系统的光轴使所述被测定物相对所述摄影装置移动；以及影像处理部，一边利用所述相对移动部使所述被测定物相对所述摄影装置移动、一边对以所述摄影装置拍摄而取得的所述被测定物表面的多个影像进行影像处理；所述影像处理部，具备：第1运算处理部，从所述多个影像中抽出一个对象影像与除了所述对象影像以外的至少一个参考影像，并使微分算子作用于所述对象影像与所述参考影像，就抽出的所述对象影像与所述参考影像的各组以所述对象影像的像素单位算出既定的特征量；以及第2运算处理部，根据以像素单位算出的多个所述特征量中就各像素为最大的所述相对移动位置，求出所述被测定物的表面高度；所述微分算子，具有在算出所述特征量后，对所述对象影像的瞩目像素的像素值与所述参考影像中存在于与所述瞩目像素不同像素位置的相邻像素的像素值赋予权重的系数；所述特征量，以所述微分算子产生的所述瞩目像素的像素值与所述相邻像素的像素值的微分值。