| 发明名称 | 黄铜矿型薄膜太阳能电池及其制造方法 | ||
| 摘要 | 本发明公开了一种黄铜矿型薄膜太阳能电池的制造方法，包括：提供衬底；在所述衬底表面形成背电极层；利用单一靶材在所述背电极层表面溅射膜层和蒸镀完成预制层制备；在保护气氛中进行退火反应形成吸收层；在所述吸收层表面形成缓冲层；在所述缓冲层表面形成透明导电层。本发明的黄铜矿型薄膜太阳能电池及其制造方法能够进一步提高沉积铜铟镓(CuInGa)前驱体薄膜的均匀性和成分可控性，以及生产过程的安全性。 | ||
| 申请公布号 | CN102437237A | 申请公布日期 | 2012.05.02 |
| 申请号 | CN201110384726.6 | 申请日期 | 2011.11.29 |
| 申请人 | 福建钧石能源有限公司 | 发明人 | 桑保生;李隆玉;余腊锋;林循恩;杨与胜;林朝晖 |
| 分类号 | H01L31/18(2006.01)I;H01L31/04(2006.01)I | 主分类号 | H01L31/18(2006.01)I |
| 代理机构 | 代理人 | ||
| 主权项 | 一种黄铜矿型薄膜太阳能电池的制造方法，包括：提供衬底；在所述衬底表面形成背电极层；利用单一靶材在所述背电极层表面溅射膜层；利用单质硒源在所述溅射膜层表面蒸发硒层并形成前驱体薄膜层；对所述前驱体薄膜层在保护气氛中进行退火反应形成吸收层；在所述吸收层表面形成缓冲层；在所述缓冲层表面形成透明导电层。 | ||
| 地址 | 362000 福建省泉州市鲤城区南环路1303号江南高新科技园区金太阳园 | ||