基于纵横应力调整的SAW高温压力传感器温度补偿方法

摘要

本发明涉及一种基于纵横应力调整的SAW高温压力传感器温度补偿的方法。其特征在于优化选择SAW敏感基片切型的基础上，将传统的平面形式的膜片结构优化设计为背面为内柱面的结构。本发明通过合理设计膜片直径、厚度、柱面半径等几何尺寸，来控制表面应力纵横比的分布状态，从而改变膜片表面的SAW谐振器的频率-温度特性，使得SAW器件的频率-温度特性在一个较宽的温度和压力范围内基本保持恒定，以达到宽温度和宽量程范围的更好的温度补偿效果。

主权项

一种基于纵横应力调整的SAW高温压力传感器温度补偿方法，其特征在于，选择SAW敏感基片切型，采用受力面为内柱面形式的弹性结构，控制SAW谐振器基片表面的纵横应力比，其中：在选择SAW敏感基片切型时，根据压电晶体各向异性的特点，以传感器实际工作的温度范围的中心点为参考，通过理论计算选择具有较大机电耦合系数k和较小温度延时系数TCD的切向作为SAW基片切割和传播方向；所述弹性结构作为感受被测压力的弹性敏感膜片，其上表面为平面、下表面为内柱面形式。