发明名称 | 无铬光刻板 | ||
摘要 | 本发明涉及无铬光刻板,它包括石英基板,石英基板的上表面的预定位置制作有光刻图形,光刻图形的顶部覆盖有粗化散射表面。优选地,石英基板的下表面的对应位置制作有相同的光刻图形,光刻图形的顶部覆盖有粗化散射表面,其中,位于石英基板的上表面与下表面的光刻图形的垂直投影相互重合。本发明解决了现有技术中的缺陷,实现仅通过使用石英材料本身来制作掩模图形,从而减少光刻板在重复使用过程中的图形失真。 | ||
申请公布号 | CN102436135A | 申请公布日期 | 2012.05.02 |
申请号 | CN201210003155.1 | 申请日期 | 2012.01.07 |
申请人 | 聚灿光电科技(苏州)有限公司 | 发明人 | 魏臻 |
分类号 | G03F1/60(2012.01)I | 主分类号 | G03F1/60(2012.01)I |
代理机构 | 苏州广正知识产权代理有限公司 32234 | 代理人 | 张利强 |
主权项 | 一种无铬光刻板,它包括石英基板,其特征在于:所述的石英基板的上表面的预定位置制作有光刻图形,所述的光刻图形的顶部覆盖有粗化散射表面。 | ||
地址 | 215123 江苏省苏州市工业园区新庆路8号 |