发明名称 |
连续蒸镀设备 |
摘要 |
本发明公开了一种连续蒸镀设备,包括主腔体、至少两副腔体、与副腔体对应的蒸发源机构及蒸发舟输送机构,副腔体与主腔体之间密封地连通,蒸发源机构安装于主腔体内且与副腔体相对应,蒸发舟输送机构密封地枢接于副腔体上,蒸发舟输送机构包括滑轨、电极棒及蒸发舟,电极棒的一端与滑轨滑动连接,另一端密封地伸入副腔体内且与蒸发舟连接,工作时,其中一蒸发舟输送机构的蒸发舟被输送到主腔体内进行蒸镀工艺,其余蒸发舟输送机构的蒸发舟位于副腔体内进行更换或维修,两组以上的蒸发舟输送机构循环交替工作,在主腔体内连续进行蒸镀,使主腔体内的蒸镀工艺不间断,实现生产的连续性,提高蒸镀效率,同时使蒸镀设备的结构简单、操作便捷。 |
申请公布号 |
CN101956176B |
申请公布日期 |
2012.05.02 |
申请号 |
CN201010502579.3 |
申请日期 |
2010.09.30 |
申请人 |
东莞宏威数码机械有限公司 |
发明人 |
杨明生;叶宗锋;刘惠森;范继良;王曼媛;王勇;张华 |
分类号 |
C23C14/56(2006.01)I;C23C14/24(2006.01)I |
主分类号 |
C23C14/56(2006.01)I |
代理机构 |
广州三环专利代理有限公司 44202 |
代理人 |
张艳美;郝传鑫 |
主权项 |
一种连续蒸镀设备,包括主腔体、至少两副腔体、至少两蒸发源机构及与所述蒸发源机构相对应的蒸发舟输送机构,所述副腔体与所述主腔体之间密封地连通,所述蒸发源机构安装于所述主腔体内且与所述副腔体相对应,所述蒸发舟输送机构密封地枢接于所述副腔体上,所述主腔体及所述副腔体均与抽真空系统连接,其特征在于:所述蒸发舟输送机构包括滑轨、电极棒及蒸发舟,所述电极棒的一端与所述滑轨滑动连接,所述电极棒的另一端密封地伸入所述副腔体内且与所述蒸发舟连接,所述电极棒带动所述蒸发舟伸入所述主腔体内并与所述主腔体密封地枢接,所述蒸发舟与所述蒸发源机构相对应。 |
地址 |
523000 广东省东莞市南城区宏图高新科技开发区东莞宏威数码机械有限公司 |