光学膜片加工模具及其制作方法

摘要

一种光学膜片加工模具，其包括一个模具基体，一形成于模具基体表面的氧化铝薄膜，以及一形成于所述氧化铝薄膜表面的氟化自组装单分子膜层。其中所述氧化铝薄膜是用原子层沉积技术得到的高硬度薄膜。本发明的模具具有容易脱模的特点。本发明也提供一种光学膜片加工模具的制作方法。

主权项

一种光学膜片加工模具的制作方法，其包括：提供一个模具基体；利用原子层沉积技术在所述模具基体表面形成一氧化铝薄膜；以及将氟化脂肪酸与所述氧化铝薄膜进行脱水反应，在所述氧化铝薄膜表面形成一氟化自组装单分子膜层。