遮罩基板之描绘方法及荷电粒子束描绘装置

摘要

本发明之一态样之荷电粒子束描绘装置之特征为包括：平台，其系将第1与第2遮罩基板并列承载；及描绘部，其系使用荷电粒子束，对前述第1遮罩基板描绘第1图案，及对前述第2遮罩基板描绘与前述第1图案互补之第2图案。