Mikromechanische Vorrichtung zur Messung einer Beschleunigung, eines Drucks oder dergleichen sowie entsprechendes Verfahren

摘要

Die Erfindung betrifft eine mikromechanische Vorrichtung zur Messung einer Beschleunigung, eines Drucks oder dergleichen. Sie umfasst ein Substrat mit zumindest einer feststehenden Elektrode, eine am Substrat beweglich angeordnete seismische Masse, zumindest eine Masseelektrode, die an der seismischen Masse angeordnet ist sowie Rückstellmittel zum Zurückführen der seismischen Masse in eine Ausgangslage, wobei die feststehende Elektrode und die Massenelektrode in einer Messebene zur Messung einer Beschleunigung, eines Drucks oder dergleichen in der Messebene ausgebildet sind, und wobei die feststehende Elektrode und die Massenelektrode zur Messung einer senkrecht zur Messebene auf die seismischen Masse einwirkenden Beschleunigung, Druckes oder dergleichen ausgebildet sind. Die Erfindung betrifft ebenfalls ein entsprechendes Verfahren sowie eine entsprechende Verwendung.