| 发明名称 | 用于金属有机化合物化学气相沉积设备的喷淋装置 | ||
| 摘要 | 本发明公开了一种用于金属有机化合物化学气相沉积设备的喷淋装置，包括至少两条输送通道，所述每条输送通道，包括连通的进气口、空腔、通孔，所述所有输送通道的通孔与通孔之间为嵌套结构。本发明用于金属有机化合物化学气相沉积设备的喷淋装置，能够提高多种的气体的均匀混合效果。 | ||
| 申请公布号 | CN102424956A | 申请公布日期 | 2012.04.25 |
| 申请号 | CN201110398227.2 | 申请日期 | 2011.12.02 |
| 申请人 | 彭继忠 | 发明人 | 彭继忠 |
| 分类号 | C23C16/455(2006.01)I | 主分类号 | C23C16/455(2006.01)I |
| 代理机构 | 上海思微知识产权代理事务所(普通合伙) 31237 | 代理人 | 郑玮 |
| 主权项 | 一种用于金属有机化合物化学气相沉积设备的喷淋装置，包括至少两条输送通道，所述每条输送通道，包括连通的进气口、空腔、通孔，所述所有输送通道的通孔与通孔之间为嵌套结构。 | ||
| 地址 | 201204 上海市浦东新区白杨路199弄4号601室 | ||