用于MEMS领域的可图形化聚合物薄膜的制备方法

摘要

一种用于MEMS领域的可图形化聚合物薄膜的制备方法，包括：在基底和任何已图形化结构上依次溅射粘结层和金属种子层；通过甩光刻胶并光刻图形化，显影处理后留下了图形化的金属种子层；然后以金属种子层为阴极，惰性金属为阳极进行电泳处理，制成柔性聚合物薄膜；初步固化处理后去除光刻胶掩膜层，最后将带有柔性聚合物薄膜的基底再次置于烘箱中进行二次固化处理，得到固化的聚合物薄膜结构。本发明制备的可图形化聚合物薄膜材料一次图形化成型，工艺简单，操作方便，且与衬底或金属的结合力较好，成本低廉，适合批量集成制造。

主权项

一种用于MEMS领域的可图形化聚合物薄膜的制备方法，其特征在于，包括以下步骤：步骤一、在干净基底或任何已图形化结构上依次溅射粘结层和金属种子层；步骤二、通过甩光刻胶并光刻图形化，然后通过显影处理后留下了图形化的金属种子层；步骤三、将带有金属种子层的基底和惰性金属浸入阴极电泳液中进行电泳处理，以金属种子层为阴极，惰性金属为阳极，制成柔性聚合物薄膜；步骤四、将带有柔性聚合物薄膜的基底置于烘箱进行初步固化处理，然后去除光刻胶掩膜层，最后将带有柔性聚合物薄膜的基底再次置于烘箱中进行二次固化处理，得到固化的聚合物薄膜结构。