一种硅烷尾气净化装置

摘要

本实用新型的目的是提出一种硅烷尾气净化装置，以更好地处理硅烷尾气。本实用新型的硅烷尾气净化装置由燃烧塔和废气处理塔组成，关键在于所述燃烧塔下部设置有进气口，上部设置有出气口，燃烧塔内设置有点火装置；所述废气处理塔的底部设置有进风口，顶部设置有出风口，废气处理塔内部设置有由填料支撑网板及其上部的填料构成的填料层；所述填料层有两个并上下设置，所述两个填料层之间设置有喷嘴，所述喷嘴通过耐酸碱的管路及水泵与供水水箱相连；所述燃烧塔的出气口与废气处理塔的进风口相通。本实用新型的硅烷尾气净化装置结构简单，处理集中化，成本低，操作维护方便，废气处理稳定、高效、彻底，适用于电池等行业的废气处理。

主权项

一种硅烷尾气净化装置，由燃烧塔和废气处理塔组成，其特征在于所述燃烧塔下部设置有进气口，上部设置有出气口，燃烧塔内设置有点火装置；所述废气处理塔的底部设置有进风口，顶部设置有出风口，废气处理塔内部设置有由填料支撑网板及其上部的填料构成的填料层；所述填料层有两个并上下设置，所述两个填料层之间设置有喷嘴，所述喷嘴通过耐酸碱的管路及水泵与供水水箱相连；所述燃烧塔的出气口与废气处理塔的进风口相通。