发明名称 |
Method for monitoring the oscillatory characteristics of a microfabricated resonant mass sensor |
摘要 |
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申请公布号 |
AU2002250325(A1) |
申请公布日期 |
2002.10.03 |
申请号 |
AU20020250325 |
申请日期 |
2002.03.15 |
申请人 |
MOLECULAR REFLECTION |
发明人 |
KELVIN J. LIU;MICHAEL I. NERENBERG |
分类号 |
G01H9/00;G01H13/00;G01N29/036;G01N29/24;(IPC1-7):G01F1/20;G01N11/10;G01K11/26;G01N5/02;G01N33/483;G01L9/00;G01N9/10 |
主分类号 |
G01H9/00 |
代理机构 |
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代理人 |
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主权项 |
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地址 |
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