发明名称 |
微机械传感器 |
摘要 |
一种用于根据在传感器上所出现的加速力和/或科氏力测定传感器运动的微力学传感器,所述微力学传感器具有一个衬底(5)以及至少一个设置在衬底(5)上并且可以相对于衬底(5)移动的质量块(6)。质量块(6)与衬底(5)和/或两个相向移动的质量块可以借助至少一个弯曲弹簧装置(1)相互连接在一起用于进行相对旋转运动。为了提高弯曲弹簧装置在旋转运动时的线性弹簧特性,所述弯曲弹簧装置(1)具有多个优选两个基本相互平行走向的弹簧条(2),以及至少在一个优选在每个弹簧条(2)上具有至少一个曲折段(3)。 |
申请公布号 |
CN102428376A |
申请公布日期 |
2012.04.25 |
申请号 |
CN201080018950.7 |
申请日期 |
2010.04.27 |
申请人 |
感应动力股份公司 |
发明人 |
H·哈默 |
分类号 |
G01P15/08(2006.01)I;B81B3/00(2006.01)I;G01C19/5684(2012.01)I |
主分类号 |
G01P15/08(2006.01)I |
代理机构 |
广州粤高专利商标代理有限公司 44102 |
代理人 |
陈卫 |
主权项 |
一种用于根据在传感器上所出现的加速力和/或科氏力测定传感器运动的微力学传感器,所述微力学传感器具有一个衬底(5)以及至少一个设置在衬底(5)上并且可以相对于衬底(5)移动的质量块(6),其中,质量块(6)与衬底(5)和/或两个相向移动的质量块可以借助至少一个弯曲弹簧装置(1)相互连接在一起,从而进行相对旋转运动,其特征在于,为了提高弯曲弹簧装置在旋转运动时的线性弹簧特性,所述弯曲弹簧装置(1)具有多个优选两个基本相互平行走向的弹簧条(2),以及至少在一个优选每个弹簧条(2)上具有至少一个曲折段(3)。 |
地址 |
奥地利格拉茨-莱布灵A8403爱贝芬德酒店 |