发明名称 DETERMINING LAYER THICKNESS USING PHOTOELECTRON SPECTROSCOPY
摘要
申请公布号 EP1875485(A4) 申请公布日期 2012.04.25
申请号 EP20060750862 申请日期 2006.04.19
申请人 REVERA INCORPORATED 发明人 SCHUELER, BRUNO
分类号 H01J40/00 主分类号 H01J40/00
代理机构 代理人
主权项
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