多晶硅铸锭用坩埚涂覆机及坩埚涂覆方法

摘要

本发明公开了一种多晶硅铸锭用坩埚涂覆机及坩埚涂覆方法，属于多晶硅制备技术领域。坩埚涂覆机包括底座、支撑部，支撑部上端铰接转轴支架，转轴支架内有转轴，转轴的一端可拆卸的固定有坩埚，转轴的另一端连接有动力源；转轴支架与底座之间装有液压支柱。坩埚涂覆方法包括安装和清理坩埚、倒浆料、垂直旋转涂覆坩埚底部、水平旋转涂覆坩埚侧面、倒出浆料余料、取下坩埚等步骤。使用本发明坩埚涂覆机及坩埚涂覆方法，可实现坩埚自动或半自动旋转涂覆，取代传统的人工喷涂方式，解决浆料涂覆不匀产生的硅料粘埚等问题，节约时间，提高生产效率，保证产品质量，减少劳动强度。

主权项

一种多晶硅铸锭用坩埚涂覆机，其特征在于：它包括底座(1)，底座(1)上固定有支撑部(1‑1)，支撑部(1‑1)上端有铰支座(4)，铰支座(4)上铰接有转轴支架(3)，转轴支架(3)内穿入转轴(5)，转轴(5)与转轴支架(3)之间装有轴承，所述的转轴(5)的一端伸出所述的转轴支架(3)外可拆卸的固定有坩埚(6)，所述的转轴(5)的另一端连接有动力源(2)；所述的转轴支架(3)靠近坩埚(6)的一端与所述的底座(1)之间装有液压支柱(7)，液压支柱(7)的一端与所述的转轴支架(3)铰接，液压支柱(7)的另一端与所述的底座(1)铰接。