提纯高低沸物中三氯氢硅的分离装置和方法

摘要

本发明公开了一种提纯高低沸物中三氯氢硅的分离装置和方法，主要包括原料罐、进料泵、再沸器、塔顶冷凝器、回流罐、回流泵及高效精馏塔，高效精馏塔内设有高效规整填料及筛板，筛板的层数为55—60层，再沸器为卧式，塔顶冷凝器为浮头式。本发明通过对系统进行加压精馏，提高了各馏分的沸点，使之沸点差距拉大，分离纯化效率更加高效。且通过本发明方法提纯后，冷凝水循环低温冷冻系统可使用工业循环水，大大减少了设备投资，且过程换热效率得到了很大提高，同时在本发明中使用了浮头式的冷凝器作为塔顶冷凝器，卧式再沸器替代立式再沸器，减少了设备损坏率与安全隐患，改变了三氯氢硅行业的冷凝器管板焊接处易漏的惯例，提高了设备使用寿命。

主权项

一种提纯高低沸物中三氯氢硅的分离装置，主要包括原料罐（1）、进料泵（2）、再沸器（3）、塔顶冷凝器（5）、回流罐（6）、回流泵（7）及高效精馏塔（4），其特征在于：原料罐（1）的出料端通过管道与进料泵（2）的进料端连接，进料泵（2）的出料端通过管道与高效精馏塔（4）的进料端连接，高效精馏塔（4）顶端设有塔顶冷凝器（5），高效精馏塔（4）下方通过管道分别与三氯氢硅罐（9）和再沸器（3）连接，塔顶冷凝器（5）的出口通过管道与回流罐（6）的进口连接，回流罐（6）通过管道分别与回流泵（7）和二氯二氢硅储罐（8）连接，回流泵（7）通过管道分别与二氯二氢硅储罐（8）、四氯化硅储罐（10）和再沸器（3）连接。