发明名称 减压组件及真空装置
摘要 本实用新型有关一种减压组件,包含:第一歧管,以串联方式与一真空容器的一排气口相连;止回阀,安装于该第一歧管上,仅容许从该真空容器向外将该真空容器中的气体排出;第二歧管,与该第一歧管并联,具有一排气侧段及一大气侧段,该排气侧段与该真空容器的排气口连接;及真空生成器,安装于该第二歧管上,将从外部进入的气体在向外排出的过程中产生减小压力的效果。本实用新型还有关一种包含上述减压组件的真空装置。本实用新型的减压组件根据文氏管效应所产生的气体流势,无需其他动力,即可减小真空容器排气口的压力,从而可减少真空容器空转时所消耗电力的50%以上。
申请公布号 CN202196761U 申请公布日期 2012.04.18
申请号 CN201120310073.2 申请日期 2011.08.24
申请人 力技科技工程股份有限公司 发明人 庄锦源
分类号 H01L21/67(2006.01)I;F04D29/00(2006.01)I 主分类号 H01L21/67(2006.01)I
代理机构 北京汇泽知识产权代理有限公司 11228 代理人 朱振德
主权项 一种减压组件,其特征在于,包含:一第一歧管,以串联方式与一真空容器的一排气口相连;一止回阀,安装于该第一歧管上,仅容许从该真空容器向外将该真空容器中的气体排出;一第二歧管,与该第一歧管并联,具有一排气侧段及一大气侧段,该排气侧段与该真空容器的排气口连接;及一真空生成器,安装于该第二歧管上。
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