原料供给装置以及成膜装置

摘要

本发明提供一种原料供给装置，是向成膜装置供给使固体原料升华的气体原料的原料供给装置，其特征在于，包括：内部保持所述固体原料的原料容器；设置在所述原料容器的第一侧的第一加热单元；设置在所述原料容器的第二侧的第二加热单元；第一温度控制单元，进行第一处理，控制所述第一加热单元以及所述第二加热单元，使所述第一侧的温度比所述第二侧的温度高，以使所述固体原料在所述第一侧升华；以及第二温度控制单元，进行第二处理，控制所述第一加热单元以及所述第二加热单元，使所述第二侧的温度比所述第一侧的温度高，以使所述固体原料在所述第二侧升华。

主权项

一种原料供给装置，用于向成膜装置供给使固体原料升华得到的气体原料，其特征在于，包括：内部保持所述固体原料的原料容器；设置在所述原料容器的第一侧的第一加热单元；设置在所述原料容器的第二侧的第二加热单元；第一温度控制单元，进行第一处理，控制所述第一加热单元以及所述第二加热单元，使所述第一侧的温度比所述第二侧的温度高，从而使所述固体原料在所述第一侧升华；第二温度控制单元，进行第二处理，控制所述第一加热单元以及所述第二加热单元，使所述第二侧的温度比所述第一侧的温度高，从而使所述固体原料在所述第二侧升华；和第三温度控制单元，控制第一加热单元和第二加热单元，使得固体原料升华。