| 发明名称 | 使用多种能量He<sup>+</sup>和He<sup>2+</sup>离子处理弹性部件表面的方法 | ||
| 摘要 | 本发明涉及使用氦离子处理固体弹性部件的至少一个表面的方法。根据本发明，同时注入多能量的He+和He2+离子，其中比率RHe＝He+/He2+，式中He+和He2+以％形式来表示，RHe小于或等于100，例如小于20。采用这种方法，可以非常显著地减小处理部件的摩擦特性。He+和He2+离子可由诸如ECR源来提供。 | ||
| 申请公布号 | CN102414263A | 申请公布日期 | 2012.04.11 |
| 申请号 | CN201080019336.2 | 申请日期 | 2010.03.05 |
| 申请人 | 夸泰克工程公司 | 发明人 | 丹尼斯·巴萨多;弗雷德里克·盖尔纳莱克 |
| 分类号 | C08J7/18(2006.01)I;C23C14/48(2006.01)I | 主分类号 | C08J7/18(2006.01)I |
| 代理机构 | 上海天协和诚知识产权代理事务所 31216 | 代理人 | 张恒康 |
| 主权项 | 一种使用氦离子处理块状弹性部件的至少一个表面的处理方法，其特征在于，同时注入多种能量的He+和He2+离子，其中比率RHe＝He+/He2+，式中He+和He2+以％形式表示，比率RHe小于或等于100，例如小于20。 | ||
| 地址 | 法国卡昂 | ||