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发明名称
HIGH DEPTH TO WIDTH RATIO ETCHING PROCESS
摘要
申请公布号
CA868865(A)
申请公布日期
1971.04.20
申请号
CAD868865
申请日期
申请人
TEXAS INSTRUMENTS INCORPORATED
发明人
HALL E. JARMAN
分类号
主分类号
代理机构
代理人
主权项
地址
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