| 发明名称 | 基板支撑结构、箝制准备单元及微影系统 | ||
| 摘要 | 一种基板支撑结构(13)，其用于通过由液体箝制层(11)所产生的毛细作用力来箝制基板(12)，液体箝制层(11)具有低于其周围环境的压力。该基板支撑结构包括设置有用于保持基板的多个基板支撑元件(17)的表面(16)，且该表面进一步包含具有不同毛细势的部分(51、52、83)，以在箝制期间引发该液体箝制层内的预定毛细流。 | ||
| 申请公布号 | CN102414781A | 申请公布日期 | 2012.04.11 |
| 申请号 | CN201080017871.4 | 申请日期 | 2010.02.22 |
| 申请人 | 迈普尔平版印刷IP有限公司 | 发明人 | H.J.德琼 |
| 分类号 | H01L21/00(2006.01)I;G03F7/00(2006.01)I;H01L21/67(2006.01)I;G03F7/20(2006.01)I;H01J37/317(2006.01)I;G03B27/58(2006.01)I | 主分类号 | H01L21/00(2006.01)I |
| 代理机构 | 北京市柳沈律师事务所 11105 | 代理人 | 陈尧剑 |
| 主权项 | 一种基板支撑结构(13)，用于通过液体箝制层(11)所产生的毛细作用力来箝制基板(12)，所述液体箝制层(11)具有低于其周围环境的压力，所述基板支撑结构包括表面(16)，所述表面(16)设置有用于保持所述基板的多个基板支撑元件(17)，所述表面进一步包括具有不同毛细势的部分(51、52、83)，用于在箝制期间在所述液体箝制层内引发预定毛细流。 | ||
| 地址 | 荷兰代夫特 | ||