一种远程等离子表面改性的方法

摘要

本发明涉及一种材料表面改性的方法，特别是涉及一种远程等离子表面改性的方法，即待处理材料不直接放置于等离子放电区，而是放置于顺气流方向的下游，距等离子放电区某一放置距离，先将待处理样品放置于等离子设备，对等离子设备抽真空，然后将改性气体与载流气体按合理的体积比例同时引入到等离子体设备中，在电场作用下放电产生等离子，所产生的等离子在待改性材料表面进行反应而达到改性作用，其特征是：将待改性物体放置于顺气流方向下游距离等离子放电区一定放置距离。本发明的一种材料表面改性的方法，经过远程等离子处理，材料的表面发生的显著改变，而其力学性能基本保持稳定。

主权项

一种远程等离子表面改性的方法，先将待处理样品放置于等离子设备，对等离子设备抽真空，然后将改性气体与载流气体按合理的体积比例同时引入到等离子体设备中，在电场作用下放电产生等离子，所产生的等离子在待改性材料表面进行反应而达到改性作用，其特征是：将待改性物体放置于顺气流方向下游距离等离子放电区一定放置距离；所述的一定距离为5～60cm；所述的合理的体积比例为改性气体的体积占改性气体与载流气体总体积的10％～90％；所述的真空是指真空度为1×10‑2～5×10‑2Pa。