| 摘要 |
In einem Winkelgeschwindigkeitssensor ist ein Vibrator mit einem Substrat durch einen Balkenteil gekoppelt und ist in einer ersten Richtung und einer zweiten Richtung, die senkrecht zur ersten Richtung ist, beweglich. Ein Antriebsteil ist konfiguriert, um den Vibrator in der ersten Richtung zu vibrieren. Ein Erfassungsteil ist konfiguriert, um Deplatzierung des Vibrators in der zweiten Richtung als eine Kapazitätsveränderung zu erfassen, wobei die Deplatzierung durch Corioliskraft verursacht wird, die in dem Vibrator aufgrund von Vibration des Vibrators und einer Winkelgeschwindigkeit um eine dritte Richtung herum, die senkrecht zur ersten Richtung und zur zweiten Richtung ist, erzeugt wird. Ein Verhinderungsteil ist konfiguriert, um Deplatzierung des Vibrators in der zweiten Richtung basierend auf der Kapazitätsveränderung zu verhindern. Der Winkelgeschwindigkeitssensor ist konfiguriert, um eine Bedingung zu erfüllen, bei der &bgr;sin&thetas; gleich oder kleiner 1 ist.
|
