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发明名称 METHOD OF MANUFACTURING SEMI-CONDUCTOR DEVICES USING REFRACTORY DIELECTRICS
摘要
申请公布号 US3602984(A) 申请公布日期 1971.09.07
申请号 USD3602984 申请日期 1967.10.02
申请人 NASA USA 发明人 ROBERT L. TRENT
分类号 H01L21/00;H01L21/316;H01L23/29;(IPC1-7):B01J17/00;H01L5/00 主分类号 H01L21/00
代理机构 代理人
主权项
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