发明名称
摘要
申请公布号 JP4909737(B2) 申请公布日期 2012.04.04
申请号 JP20060532423 申请日期 2004.04.16
申请人 发明人
分类号 H01L21/8247;G11C11/34;G11C16/04;H01L21/28;H01L21/336;H01L27/115;H01L29/788;H01L29/792 主分类号 H01L21/8247
代理机构 代理人
主权项
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