微线圈、其制造方法及制造装置

摘要

本发明为在朝原料气体的反应容器内的导入及自该反应容器的气体排出的构成上加以精心钻研，以提供一种于反应容器中的原料气体的流动或与触媒间的接触，得以良好地进行而加以制造而成的微线圈、其制造方法及制造装置。反应容器20，包括圆筒状容器主体20a；自此容器主体20a的左右二侧部向相互地反方向上所延伸的原料气体导入筒群20b～20d及气体排出筒群20f；以及插入至容器主体20a内的圆筒状基材30。自原料气体导入筒群20b～20d被导入至容器主体20a内的原料气体于预定高温下与承载在基材30上的触媒相反应而热分解，使微线圈自基材30成长。

主权项

一种微线圈，该线圈由下述反应容器制得，该反应容器包括，筒状容器主体；以及于该容器主体内沿着其轴向被插入的基材，该基材与容器主体的内周面相对并承载触媒，并且，在该反应容器中，将在热分解时生成气体状碳物种的原料气体，自容器主体的横向上两相向壁部的一方，导入至该容器主体内，与此同时，自上述横向上两相向壁部的另一方，将容器主体内的气体排出；所述微线圈是如下形成的，在该容器主体中，将自其横向上两相向壁部的上述一方导入的上述原料气体，在一预定高温下利用触媒加以热分解而在基材上生成气体状碳物种，所述微线圈据上述气体状碳物种自该基材成长而成。