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发明名称 METHOD OF FORMING AN OPTICAL ELEMENT OF AN IMMERSION OPTICAL LITHOGRAPHY SYSTEM
摘要
申请公布号 EP1929374(B1) 申请公布日期 2012.04.04
申请号 EP20060793213 申请日期 2006.09.05
申请人 INTERNATIONAL BUSINESS MACHINES CORPORATION 发明人 HOLMES, STEVEN;FURUKAWA, TOSHIHARU;KOBURGER, CHARLES, III;MOUMEN, NAIM
分类号 G03F7/20;G03F7/11 主分类号 G03F7/20
代理机构 代理人
主权项
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