发明名称 薄膜晶体管基板及半穿透半反射式液晶显示器的制造方法
摘要 一种薄膜晶体管基板的制造方法,包含下列步骤:提供一基板,其定义有多个像素区域,每个像素区域形成有一薄膜晶体管,每个像素区域包含一穿透区及一反射区;形成一光阻层在该薄膜晶体管上;只使用一光罩,曝光该光阻层,并显影该曝光后的光阻层,以使该光阻层同时形成有一贯穿开口、多个贯穿孔及凸块,其中该贯穿开口位于该穿透区,该些贯穿孔及凸块依序排列而位于该反射区,且该贯穿开口的尺寸大于该贯穿孔的尺寸;利用热处理固化制程将该些凸块进行固化,使该些凸块形成有一弧形表面;以及形成一反射电极于该弧形表面。
申请公布号 CN102403271A 申请公布日期 2012.04.04
申请号 CN201110399984.1 申请日期 2011.12.06
申请人 华映视讯(吴江)有限公司;中华映管股份有限公司 发明人 郭晋川
分类号 H01L21/77(2006.01)I;G03F7/00(2006.01)I;G02F1/1333(2006.01)I 主分类号 H01L21/77(2006.01)I
代理机构 上海汉声知识产权代理有限公司 31236 代理人 胡晶
主权项 一种薄膜晶体管基板的制造方法,其特征在于,包含下列步骤:提供一基板,其定义有多个像素区域,每个像素区域形成有一薄膜晶体管,每个像素区域包含一穿透区及一反射区;形成一光阻层在该薄膜晶体管上;只使用一光罩,曝光该光阻层,并显影该曝光后的光阻层,以使该光阻层同时形成有一贯穿开口、多个贯穿孔及凸块,其中该贯穿开口位于该穿透区,该些贯穿孔及凸块依序排列而位于该反射区,且该贯穿开口的尺寸大于该贯穿孔的尺寸;以及利用一热处理固化制程将该些凸块进行固化,使该些凸块形成有一弧形表面。
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