发明名称 |
薄膜晶体管基板及半穿透半反射式液晶显示器的制造方法 |
摘要 |
一种薄膜晶体管基板的制造方法,包含下列步骤:提供一基板,其定义有多个像素区域,每个像素区域形成有一薄膜晶体管,每个像素区域包含一穿透区及一反射区;形成一光阻层在该薄膜晶体管上;只使用一光罩,曝光该光阻层,并显影该曝光后的光阻层,以使该光阻层同时形成有一贯穿开口、多个贯穿孔及凸块,其中该贯穿开口位于该穿透区,该些贯穿孔及凸块依序排列而位于该反射区,且该贯穿开口的尺寸大于该贯穿孔的尺寸;利用热处理固化制程将该些凸块进行固化,使该些凸块形成有一弧形表面;以及形成一反射电极于该弧形表面。 |
申请公布号 |
CN102403271A |
申请公布日期 |
2012.04.04 |
申请号 |
CN201110399984.1 |
申请日期 |
2011.12.06 |
申请人 |
华映视讯(吴江)有限公司;中华映管股份有限公司 |
发明人 |
郭晋川 |
分类号 |
H01L21/77(2006.01)I;G03F7/00(2006.01)I;G02F1/1333(2006.01)I |
主分类号 |
H01L21/77(2006.01)I |
代理机构 |
上海汉声知识产权代理有限公司 31236 |
代理人 |
胡晶 |
主权项 |
一种薄膜晶体管基板的制造方法,其特征在于,包含下列步骤:提供一基板,其定义有多个像素区域,每个像素区域形成有一薄膜晶体管,每个像素区域包含一穿透区及一反射区;形成一光阻层在该薄膜晶体管上;只使用一光罩,曝光该光阻层,并显影该曝光后的光阻层,以使该光阻层同时形成有一贯穿开口、多个贯穿孔及凸块,其中该贯穿开口位于该穿透区,该些贯穿孔及凸块依序排列而位于该反射区,且该贯穿开口的尺寸大于该贯穿孔的尺寸;以及利用一热处理固化制程将该些凸块进行固化,使该些凸块形成有一弧形表面。 |
地址 |
215217 江苏省苏州市吴江经济开发区同里分区江兴东路88号 |