WERKWIJZE VOOR DE AFZETTING VAN EEN GELIJKMATIGE NANOCOATING DOOR MIDDEL VAN EEN LAGE DRUK PLASMA PROCES.

摘要

De uitvinding betreft een conformal nanocoating aangebracht door middel van een lage druk plasma proces. De uitvinding betreft ook een werkwijze voor het aanbrengen van een dergelijke conformal nanocoating op een driedimensionele structuur, en in het bijzonder een driedimensionele structuur bevattende elektrisch geleidende en niet-geleidende elementen.