漏泄检查方法及使用有此之漏泄检查装置

摘要

在校正模式，2等分在被检查体与基准槽封入加压气体之后的平衡期间，而每当经过前半时间T1与后半时间T1来测定差压变化值△P1与△P2，并测定发生在检查期间T2之间的差压变化值△P3。又测定发生在从经过被视为隔热变化所产生的影响充分地稳定时间之时机经过时间T2之间的差压变化值CT2，由此些测定值藉由K＝(△P3－CT2)/(△P1－△P2)算出漂移修正系数K，记忆在记忆器，并在检查模式利用。