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发明名称
光阻组合物
摘要
本发明系关于一种适用于波长介于300 nm与10 nm之间的感光组合物,其包括含有经取代或未经取代之高碳金刚烷的聚合物。
申请公布号
TWI361333
申请公布日期
2012.04.01
申请号
TW093137638
申请日期
2004.12.06
申请人
AZ电子材料公司 日本
发明人
罗夫R 丹麦尔
分类号
G03F7/004
主分类号
G03F7/004
代理机构
代理人
陈长文 台北市松山区敦化北路201号7楼
主权项
地址
日本
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