定盘、载物台装置及曝光装置以及曝光方法

摘要

本发明提供一种定盘、载物台装置及曝光装置以及曝光方法，能够抑制因曝光用的液体的泄漏和浸入所带来的影响，并可进行良好的曝光处理。定盘41具有用于支援物体的支援表面41A。使定盘41具有拨液性，且设有用于从定盘41回收液体的回收装置71。