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发明名称
USE OF DIAMOND-LIKE CARBON LAYERS FOR THE APPLICATION OF SEMICONDUCTOR INKS FREE OF METAL IONS
摘要
申请公布号
WO2012038118(A1)
申请公布日期
2012.03.29
申请号
WO2011EP62822
申请日期
2011.07.26
申请人
EVONIK DEGUSSA GMBH;HINRICHS-TONTRUP, NATALIA;PATZ, MATTHIAS
发明人
HINRICHS-TONTRUP, NATALIA;PATZ, MATTHIAS
分类号
C23C16/26;B41F22/00;B65G39/00;H01L21/673
主分类号
C23C16/26
代理机构
代理人
主权项
地址
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