| 发明名称 | 三元铝合金薄膜和靶 | ||
| 摘要 | 提供了平板显示器制造用的物理蒸气沉积靶。该靶包括一种三元合金体系，该体系以原子百分率计有数量约90～99.98的第一组分，其中第一组分是铝；数量约0.01～2.0的第二组分，其中第二组分是一种选自Nd、Ce、Dy和Gd组成的一组的稀土元素；和数量约0.01～8.0的第三组分，其中第三元素选自Ni、Co、Mo、Sc、和Hf。 | ||
| 申请公布号 | CN101405430B | 申请公布日期 | 2012.03.28 |
| 申请号 | CN200780010340.0 | 申请日期 | 2007.03.28 |
| 申请人 | 普莱克斯技术有限公司 | 发明人 | J·萨卡;C·罗;P·S·吉尔曼 |
| 分类号 | C23C14/34(2006.01)I;C03C17/09(2006.01)I;C22C21/00(2006.01)I | 主分类号 | C23C14/34(2006.01)I |
| 代理机构 | 中国专利代理(香港)有限公司 72001 | 代理人 | 刘元金;林森 |
| 主权项 | 一种平板显示器制造用物理蒸气沉积靶，包含：一种三元合金体系，选自Al‑Ce‑Hf，Al‑Dy‑Co，Al‑Gd‑Co和Al‑Gd‑Hf组成的一组，其中以原子％计，第一组分是铝且第一组分的数量为90～99.98；第二组分选自由Ce、Dy和Gd组成的组且第二组分的数量为0.01～2.0；和第三组分选自由Hf和Co组成的组且第三组分的数量为0.01～8.0，其中，将该三元合金真空熔融并浇铸成锭料，随后将该锭料在450～675℃的温度进行热加工，冷轧，然后在250℃～500℃范围内的温度进行重结晶退火处理。 | ||
| 地址 | 美国康涅狄格州 | ||