发光二极管的制造方法

摘要

本发明提供一种发光二极管及其制造方法。在所述方法中，形成半导体层，并且在所述半导体层上形成掩模层。使激光辐照到掩模层的划片区域上以将所述半导体层分为多个发光二极管。蚀刻划片区域，然后移除掩模层。接着使所述多个发光二极管彼此分离。

主权项

一种制造发光二极管(LED)的方法，所述方法包括：在衬底上形成半导体层；在所述半导体层上形成掩模层；使激光辐照到所述掩模层的划片区域上，以将所述划片区域中的所述掩模层、所述半导体层和所述衬底移除，从而将所述半导体层分为多个发光二极管；蚀刻所述划片区域；移除所述掩模层；和分离所述多个发光二极管。