发明名称 | 一种管芯硅片真空夹具 | ||
摘要 | 本实用新型公开了一种管芯硅片真空夹具,包括夹具体和夹座,夹座上穿接有夹具体,所述夹具体外表面上设有台阶,台阶下的夹具体外表面上套有弹簧,弹簧下方的夹具体底部固定连接有吸头,夹具体和吸头内贯通有真空通气道,真空通气道末端连有活塞。本实用新型通过真空吸力吸附工件,并旋转带动工件磨削,解决了现有管芯硅片通过人工手指夹钳进行磨削,人工夹钳不易夹紧工件,使生产出的产品的准确度和稳定性降低,且人工手指夹钳管芯硅片无法保证硅片整个圆周的磨削程度一致,使产品的误差值增大的问题。 | ||
申请公布号 | CN202174495U | 申请公布日期 | 2012.03.28 |
申请号 | CN201120239705.0 | 申请日期 | 2011.07.08 |
申请人 | 胡伟忠 | 发明人 | 胡伟忠;田小钰 |
分类号 | B24B41/06(2012.01)I | 主分类号 | B24B41/06(2012.01)I |
代理机构 | 杭州杭诚专利事务所有限公司 33109 | 代理人 | 林宝堂 |
主权项 | 一种管芯硅片真空夹具,包括夹具体(1)和夹座(2),夹座(2)上穿接有夹具体(1),其特征是,所述夹具体(1)外表面上设有台阶,台阶下的夹具体(1)外表面上套有弹簧(4),弹簧(4)下方的夹具体(1)底部固定连接有吸头(3),夹具体(1)和吸头(3)内贯通有真空通气道(5),真空通气道(5)末端连有活塞(6)。 | ||
地址 | 321400 浙江省丽水市缙云县大桥南路318号 |