| 摘要 |
Пьезопривод для выполнения нанотехнологических операций, содержащий пьезоэлементы, электрически и механически связанные между собой, причем верхний пьезоэлемент связан с неподвижным основанием, а нижний пьезоэлемент связан с зондом посредством электроизолирующей прокладки, отличающийся тем, что снабжен устройством подачи жидкого азота, тепловой трубой, верхний торец которой связан с устройством подачи жидкого азота, а нижний торец тепловой трубы соединен с электроизолирующей прокладкой, выполненной из теплопроводящего материала, пьезоэлементы выполнены в виде колец, установленных на тепловой трубе. |
